真空熱處理工藝中，冷卻是完成熱處理工藝目地的關(guān)鍵全過程，為維持工件在真空熱處理全過程中的優(yōu)質(zhì)特點(diǎn)，冷卻劑和冷卻加工工藝的挑選和制訂是十分關(guān)鍵的，真空熱處理廠則廣泛選用油冷冷卻及其氣冷冷卻的這二種方式。

油冷是一種特性價錢較為高的一種冷卻方法。在真空泵標(biāo)準(zhǔn)下，冷卻油的冷卻能力比在正常大氣壓下需要低，這關(guān)鍵是由于工件表面蒸氣膜增厚，危害了冷卻油的冷卻能力，而真空泵淬火油的不斷完善，促使其冷卻抗壓強(qiáng)度伴隨著油表面氣體壓強(qiáng)降低而減少的水平比一般淬火油要小的多。而且能夠 根據(jù)沖進(jìn)汽體調(diào)節(jié)油表面氣體壓強(qiáng)而調(diào)節(jié)淬火油的冷卻抗壓強(qiáng)度，在確保工件淬透的前提條件下，應(yīng)用盡量低的冷卻速率，降低工件的地應(yīng)力和形變。
汽體冷卻則能夠 更強(qiáng)的維持真空泵加溫的工件優(yōu)良的表面情況、減少真空熱處理機(jī)器設(shè)備中液體冷卻劑所占有的室內(nèi)空間，簡單化真空泵熱處理實際操作加工工藝。真氣體淬關(guān)鍵考慮到的是其冷速，它與汽體的類型、空氣壓力、汽體水流量及其加溫設(shè)備的構(gòu)造相關(guān)。