真空熱處理即真空技術(shù)與熱處理兩個(gè)專業(yè)相結(jié)合的綜合技術(shù)，是指熱處理工藝的全部和部分是在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。真空熱處理廠幾乎可以實(shí)現(xiàn)淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻、氮化等幾乎所有熱處理工藝。與普通熱處理相比，不氧化、不脫碳、不增碳對(duì)工件內(nèi)部和表面都有很好的保護(hù)作用。
氧化使金屬表面失去金屬光澤，表面粗糙度增加，精度下降，并且鋼表面氧化皮往往是造成淬火軟點(diǎn)和淬火開裂的根源，氧化使鋼件強(qiáng)度降低，其他力學(xué)性能下降。脫碳是指鋼加熱時(shí)表面碳含量下降的現(xiàn)象。
一般情況下，鋼的氧化脫碳同時(shí)進(jìn)行，脫碳層由于被氧化，碳含量降低會(huì)明顯降低鋼的淬火硬度、耐磨性、及疲勞性能，高速鋼脫碳會(huì)降低紅硬性。
而且真空熱處理由于金屬是在一定的真空度下加熱的，工件避免了與氧的接觸，工件沒有氧化，沒有脫碳，能獲得光亮的表面和良好的熱處理質(zhì)量，同時(shí)在真空狀態(tài)下，也不會(huì)發(fā)生還原反應(yīng)，也不會(huì)發(fā)生增碳。熱處理設(shè)備技術(shù)與模具質(zhì)量密切相關(guān)，這兩種技術(shù)在現(xiàn)代化過程中相互促進(jìn)，共同提高。近年來，國際模具熱處理技術(shù)發(fā)展迅速的領(lǐng)域是真空熱處理技術(shù)、模具表面強(qiáng)化技術(shù)和模具材料預(yù)硬化技術(shù)。
真空熱處理技術(shù)是近年來發(fā)展起來的一種新型熱處理技術(shù)。它的特點(diǎn)是模具制造中迫切需要的，如防止氧化、不脫碳、真空脫氣或脫氣，消除氫脆，從而提高材料的塑性、韌性和疲勞強(qiáng)度。真空加熱緩慢、零件內(nèi)外溫差小等因素決定了真空熱處理過程中零件變形小。
真空熱處理按其所采用的冷卻介質(zhì)不同，真空淬火可分為真空油冷淬火、真空氣冷淬火、真空水冷淬火和真空硝鹽等溫淬火。模具主要用于真空油冷淬火、真空氣冷淬火和真空回火。為保持工件真空加熱的優(yōu)良特性，冷卻劑和冷卻工藝的選擇及制定非常重要，模具淬火過程主要采用油冷和氣冷。
對(duì)于熱處理設(shè)備后不再進(jìn)行機(jī)械加工的模具工作面，淬火后盡量采用真空回火，尤其是真空淬火工件，可以提高與表面質(zhì)量相關(guān)的機(jī)械性能。例如疲勞，表面光亮，腐蝕等等。模具的智能化包括:明確模具的結(jié)構(gòu)、材料和性能要求:模具加熱過程中溫度場和應(yīng)力場分布的計(jì)算機(jī)模擬；模具冷卻過程中溫度場、相變過程和應(yīng)力場分布的計(jì)算機(jī)模擬；加熱和冷卻過程的模擬；淬火過程的制定；設(shè)備的自動(dòng)控制技術(shù)。